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六.自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)用于檢查微孔質(zhì)量

孔金屬化前激光鉆孔后，或金屬化孔后微孔是可以檢查的?？捉饘倩蠼?jīng)過(guò)AOI檢查，所獲取的信息證實(shí)孔內(nèi)鍍層覆蓋的完整性，而不是金屬與焊盤(pán)的結(jié)合狀態(tài)。如果首道工序要求進(jìn)行蝕刻，激光鉆孔前進(jìn)行銅導(dǎo)體進(jìn)行敷形掩膜，于是在鉆孔前需要對(duì)敷形掩膜附加檢查步驟。檢查鉆孔后的環(huán)氧鉆污，就是根據(jù)圖形暗(非反射)環(huán)形的工藝特性采用反射的模式進(jìn)行檢查。反射的中心目標(biāo)是帶有銅的焊盤(pán),即微孔的底部。而墨暗的凹處是介質(zhì)材料本身的邊壁而不是金屬化鍍層,俯視到是外層發(fā)光的范圍內(nèi)表面是銅。

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視頻作者：深圳市億昇精密光電科技有限公司

在AOI檢測(cè)系統(tǒng)中光源是十分重要的組成部分，直接影響著輸入數(shù)據(jù)質(zhì)量的30%以及處理的速度，其中幾個(gè)主要的作用分別是：增強(qiáng)目標(biāo)物體與背景的對(duì)比度；提高待測(cè)物體邊緣的清晰度；去除噪聲消除陰影等。這些效果在圖像處理的算法上體現(xiàn)的明顯，好的光源可以簡(jiǎn)化軟件處理步驟，優(yōu)化系統(tǒng)，提高準(zhǔn)確度在機(jī)器視覺(jué)的檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用常見(jiàn)的主要有鹵素?zé)?、熒光燈以及LED光源。

傳統(tǒng)缺陷檢測(cè)方法為人工目視檢測(cè)法，目前在手機(jī)、平板顯示、太陽(yáng)能、鋰電池等諸多行業(yè)，仍然有大量的產(chǎn)業(yè)工人從事這項(xiàng)工作。這種人工視覺(jué)檢測(cè)方法需要在強(qiáng)光照明條件下進(jìn)行，不僅對(duì)檢測(cè)人員的眼睛傷害很大，且存在主觀性強(qiáng)和人眼空間、時(shí)間分辨率有限、檢測(cè)不確定性大、易產(chǎn)生歧義、效率低下等缺點(diǎn)，已很難滿(mǎn)足現(xiàn)代工業(yè)高速、高分辨率的檢測(cè)要求。

　　隨著電子技術(shù)、圖像傳感技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的快速發(fā)展，利用基于光學(xué)圖像傳感的表面缺陷自動(dòng)光學(xué)(視覺(jué))檢測(cè)技術(shù)取代人工目視檢測(cè)表面缺陷，已逐漸成為表面缺陷檢測(cè)的重要手段，因?yàn)檫@種方法具有自動(dòng)化、非接觸、速度快、精度高、穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。